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港大团队首创静电捕获术集成纳米金刚石
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AI 摘要
港大褚智勤团队首创静电捕获术,5分钟实现8英寸晶圆上纳米金刚石阵列化排布,良率82.5%。此方法成本低、操作简便,有望推动纳米金刚石量子技术商业化,未来或用于便携设备检测。
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港大团队首创静电捕获术,实现纳米金刚石晶圆级规模化集成
香港大学褚智勤团队与多方合作,首创基于静电捕获的方法,5分钟就能在8英寸晶圆上阵列化排布单个纳米金刚石,良率达82.5%。该方法操作简便、成本低且与CMOS工艺兼容,有望推动纳米金刚石量子技术商业化。

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